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碟式跟踪系统碟片质量检测
测试背景:碟式跟踪系统对聚光性能要求高,需要对生产的碟片进行高精度光学质量检测
使用设备:高精度聚光镜条纹检测设备
设备型号:AncientO SHF-CP-34-A1
测试目的:进行斜率误差的测量,并进行光斑拟合、得出光学参数,进而验证生产工艺,指导模具修复

测试结果:实测50片,其中不良品合计3片


测试图片如下:


实测样片图片


1、样片①


斜率误差分布


拟合聚光光斑与理论值的差异


2、样片②



斜率误差分布


拟合聚光光斑与理论值的差异


3、样片③



斜率误差分布



拟合聚光光斑与理论值的差异


4、样片④


斜率误差分布


拟合聚光光斑与理论值的差异


5、样片⑤


斜率误差分布



拟合聚光光斑与理论值的差异


测试结果整理:


序列

计算点数

斜率误差

截断效率

光学面积

   序列

RMS/mrad

%

352158

1.718

99.93%

0.826

352059

1.683

99.73%

0.826

317075

1.496

99.55%

0.744

342041

1.82

99.63%

0.802

350002

4.125

93.25%

0.821


通过测试,⑤号样片误差大,其余样片误差均在2mrad以内,可满足使用要求。